-
Về chúng tôi
-
-
-
Liên hệ
Máy bước CP Series
Máy đo vi cấu hình bước CP series là một thiết bị đo vi cấu hình tiếp xúc cực chính xác, chủ yếu được sử dụng để đo các thông số vi hình thái như chiều cao bước, độ dày màng và độ nhám bề mặt. Trong quá trình đo, một đầu kim cương có bán kính 2μm quét bề mặt mẫu trong khi di chuyển trên một bàn dịch chuyển cực chính xác. Độ dịch chuyển thẳng đứng của đầu kim được chuyển đổi thành tín hiệu điện tương ứng với kích thước đặc điểm và cuối cùng thành tín hiệu đám mây điểm kỹ thuật số. Tín hiệu đám mây điểm dữ liệu được hiển thị trong phần mềm phân tích, và các công cụ phân tích khác nhau được sử dụng để thu được dữ liệu liên quan đến chất lượng bề mặt, chẳng hạn như chiều cao bước hoặc độ nhám.
Từ khóa:
Phụ kiện sản phẩm:
Giá bán lẻ
Giá thị trường
Trọng lượng
Thể loại:
Còn lại trong kho
隐藏域元素占位
- Mô tả sản phẩm
-
- Tên sản phẩm: Máy bước CP Series
Máy đo vi cấu hình bước CP series là một thiết bị đo vi cấu hình tiếp xúc cực chính xác, chủ yếu được sử dụng để đo các thông số vi hình thái như chiều cao bước, độ dày màng và độ nhám bề mặt. Trong quá trình đo, một đầu kim cương có bán kính 2μm quét bề mặt mẫu trong khi di chuyển trên một bàn dịch chuyển cực chính xác. Độ dịch chuyển thẳng đứng của đầu kim được chuyển đổi thành tín hiệu điện tương ứng với kích thước đặc điểm và cuối cùng thành tín hiệu đám mây điểm kỹ thuật số. Tín hiệu đám mây điểm dữ liệu được hiển thị trong phần mềm phân tích, và các công cụ phân tích khác nhau được sử dụng để thu được dữ liệu liên quan đến chất lượng bề mặt, chẳng hạn như chiều cao bước hoặc độ nhám.
Mô tả sản phẩm
Máy đo vi cấu hình bậc thang dòng CP là thiết bị đo vi cấu hình tiếp xúc cực chính xác, chủ yếu được sử dụng để đo các thông số vi hình thái như chiều cao bậc thang, độ dày màng và độ nhám bề mặt. Trong quá trình đo, một đầu kim cương có bán kính 2μm quét trên bề mặt mẫu trong khi di chuyển mẫu trên bàn dịch chuyển cực chính xác. Độ dịch chuyển theo chiều dọc của đầu dò được chuyển đổi thành tín hiệu điện tương ứng với kích thước đặc điểm và cuối cùng được chuyển đổi thành tín hiệu đám mây điểm kỹ thuật số. Tín hiệu đám mây điểm dữ liệu được trình bày trong phần mềm phân tích, và các công cụ phân tích khác nhau được sử dụng để thu được dữ liệu liên quan đến chất lượng bề mặt, chẳng hạn như chiều cao bậc thang hoặc độ nhám.
Hình ảnh sản phẩm
Máy đo vi cấu hình bậc thang dòng CP sử dụng cảm biến điện dung vi sai biến thiên tuyến tính (LVDC), có khả năng điều chỉnh lực cực nhỏ và độ phân giải dưới angstrom. Đồng thời, nó tích hợp các công nghệ cốt lõi như thu nhận tín hiệu siêu thấp nhiễu, điều khiển chuyển động cực mịn và thuật toán hiệu chỉnh, giúp thiết bị có độ chính xác và độ lặp lại đo lường cực cao.
Máy đo vi cấu hình bậc thang dòng CP có khả năng thích ứng mạnh mẽ với các tình huống ứng dụng. Nó không có yêu cầu đặc biệt đối với đặc tính phản xạ, loại vật liệu và độ cứng của mẫu cần đo. Nó có thể được sử dụng rộng rãi trong các doanh nghiệp công nghiệp và các viện nghiên cứu khoa học trong các ngành công nghiệp khác nhau như bán dẫn, quang điện mặt trời, chế biến quang học, đèn LED, thiết bị MEMS và chế tạo vật liệu vi nano. Việc đặc trưng chính xác các thông số vi hình thái bề mặt có ý nghĩa rất lớn đối với việc đánh giá các vật liệu liên quan, phân tích hiệu suất và cải tiến quy trình.
Chức năng sản phẩm
1. Chức năng đo tham số
1) Chiều cao bậc thang: Có thể đo chiều cao bậc thang từ nanomet đến 330μm hoặc thậm chí 1000μm. Nó có thể đo chính xác các vật liệu được lắng đọng hoặc loại bỏ trong các quy trình như ăn mòn, phun phủ, SIMS, lắng đọng, phủ quay và CMP;
2) Độ nhám và độ gợn sóng: Có thể đo độ nhám và độ gợn sóng của mẫu. Phần mềm phân tích tính toán đường cong hồ sơ hiển vi được quét để thu được hơn 20 thông số liên quan đến độ nhám và độ gợn sóng, chẳng hạn như Ra, RMS, Rv, Rp và Rz;
3) Độ cong vênh và hình dạng: Có thể đo hình dạng 2D hoặc độ cong vênh của bề mặt mẫu. Ví dụ, trong sản xuất wafer bán dẫn, độ cong vênh hoặc thay đổi hình dạng do sự không khớp lớp giữa trong các cấu trúc lắng đọng nhiều lớp, hoặc chiều cao và bán kính cong của các cấu trúc như thấu kính.2. Hệ thống thu thập và phân tích dữ liệu
1) Chế độ đo tùy chỉnh: Hỗ trợ người dùng đặt chế độ đo của đường dẫn quét bằng cách tùy chỉnh các vị trí tọa độ đầu vào hoặc lượng dịch chuyển tương đối;
2) Chế độ đo thông minh bản đồ điều hướng: Hỗ trợ người dùng tạo thông minh các lệnh di chuyển dựa trên bản đồ điều hướng, dữ liệu hiệu chỉnh và hình ảnh thời gian thực để đạt được chế độ đo quét.
3) Phân tích thống kê SPC: Hỗ trợ phân tích nhiều thông số chỉ số cho các loại mẫu thử khác nhau. Nó cung cấp biểu đồ SPC cho dữ liệu đo của các mẫu hàng loạt để hiển thị xu hướng thay đổi của dữ liệu.3. Chức năng điều hướng quang học
Được trang bị camera màu 500W pixel, nó có thể truyền hình ảnh hình thái của quỹ đạo quét đầu dò đến phần mềm trong thời gian thực để hiển thị, cho phép đo lường định vị chính xác cao trong thời gian thực.
4. Chức năng điều chỉnh tư thế không gian mẫu
Được trang bị bàn XY chính xác, bàn xoay điện 360° và trục nâng Z điện, nó có thể điều chỉnh XYZ và góc của tư thế không gian của mẫu, cải thiện độ chính xác và hiệu quả đo lường.Đặc điểm hiệu suất
1. Cảm biến dịch chuyển dưới angstrom
Nó có độ phân giải dưới angstrom và kết hợp thiết kế giàn dọc đơn cung để giảm nhiễu nhiễu môi trường, đảm bảo thiết bị có độ chính xác và độ lặp lại đo lường tốt;2. Cảm biến lực không đổi cực nhỏ
Có thể điều chỉnh từ 1-50mg để thích ứng với bề mặt của các mẫu cứng hoặc mềm. Sử dụng thiết kế quán tính cực thấp và điều khiển lực điện từ vi mô để đạt được phép đo tiếp xúc không gây hư hại không tiếp xúc;3. Bàn quét siêu phẳng
Hệ thống được trang bị các ray dẫn hướng độ thẳng cực cao để loại bỏ các rung động nhỏ trong quá trình di chuyển và thực sự khôi phục độ gợn sóng đường viền và vi hình thái của quỹ đạo quét.
Ứng dụng điển hình
Ứng dụng bán dẫn
Chiều cao bậc thang của màng mỏng lắng đọng
Chiều cao bậc thang của lớp cản quang (vật liệu màng mềm)
Xác định tốc độ ăn mòn
Đánh bóng cơ học hóa học (ăn mòn, pitting, uốn cong)
Ứng dụng chất nền lớn
Mạch in (phần nhô ra, chiều cao bậc thang)
Lớp phủ cửa sổ
Mặt nạ wafer
Lớp phủ kẹp wafer
Tấm đánh bóng
Ứng dụng chất nền kính và hiển thị
AMOLED
Đo chiều cao bậc thang trong nghiên cứu và phát triển màn hình LCD
Đo độ dày màng bảng cảm ứng
Đo màng phủ năng lượng mặt trời
Ứng dụng màng thiết bị điện tử mềm dẻo
Bộ dò ảnh hữu cơ
Màng hữu cơ in trên màng và kính
Dấu vết đồng màn hình cảm ứngThông số kỹ thuật
Mô hình CP200 Công nghệ đo lường Công nghệ đo hồ sơ bề mặt kiểu đầu dò Quan sát mẫu Camera điều hướng quang học: Camera màu độ phân giải cao 5 megapixel, FoV, 2200*1700μm Cảm biến đầu dò Cảm biến LVDC, quán tính cực thấp Lực đo Có thể điều chỉnh 1-50mg Lựa chọn đầu dò Bán kính cong đầu dò 2μm, góc 60° Khoảng di chuyển nền tảng X/Y Điện X/Y (150mm*150mm) (Cân bằng thủ công) Bàn R-θ mẫu Điện, quay liên tục 360° Độ dài quét đơn 55mm Độ dày mẫu tối đa 50mm Kích thước wafer tối đa trên bàn 150mm (6 inch), 200mm (8 inch) Độ lặp lại chiều cao bước 5 Å, khi phạm vi là 330μm / 10 Å, khi phạm vi là 1mm
(Đo chiều cao bước 1μm, 1δ)Phạm vi cảm biến*1 330μm hoặc 1mm Độ phân giải dọc Độ phân giải <0,01 Å (khi phạm vi là 13μm) Tốc độ quét 2μm/s-10mm/s Kích thước (Dài×Rộng×Cao) mm 640*626*534 Khối lượng 40kg Nguồn cung cấp điện của thiết bị 100-240 VAC, 50/60 Hz, 200W Môi trường hoạt động Độ ẩm tương đối: Độ ẩm (không ngưng tụ) 30-40% RH
Nhiệt độ: 16-25℃ (Sự thay đổi nhiệt độ nhỏ hơn 2℃ mỗi giờ)
Độ rung mặt đất: 6,35μm/s (1-100Hz)
Độ ồn âm thanh: ≤80dB
Lưu lượng khí tầng lớp: ≤0,508 m/s (dòng chảy xuống)
Từ khóa:
Trang trước
Trang tiếp theo
Hỏi về sản phẩm
Chào mừng bạn đến với Công ty TNHH Thiết bị dụng cụ đo lường Tinh Vệ Tuyền Châu. Trang web chính thức
Nếu bạn quan tâm đến sản phẩm và dịch vụ của chúng tôi, vui lòng liên hệ hoặc để lại lời nhắn cho chúng tôi, chúng tôi rất vui được phục vụ bạn.
Địa chỉ công ty:
(Trong nước):Phòng 3F-D2, Tòa nhà Bắc Vinh Tân, Quận Hồ Lý, Tuyền Châu
(Việt Nam):Số 388, TDP Nguyễn Hữu Tiến, Phường Đồng Văn, Thị xã Duy Tiên, Tỉnh Hà Nam, Việt Nam
Điện thoại:+86 0592-5631009(Trong nước)
Di động:+86 13859953392(Trong nước)
Email:dong5631009@126.com
Điện thoại:+84 0384656346(Việt Nam)
Di động:+84 0384656346(Việt Nam)
Email:dongjinzhen9@gmail.com
Điều hướng nhanh:
Trang web di động
Xây dựng trang web:www.300.cn | Thẻ | Chính sách bảo mật